有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱用于鍵合預處理,晶圓,芯片,電容,電池,封裝,光刻膠固化,PI固化等
有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱控制系統:
具備參數設定、工藝程序編寫功能,工藝過程可保存并輸出;
工藝結束提示音;
觸摸屏
PLC控制器
運行程式可保存不少于5個工藝菜單。
材質
(1)內部為304或316材質;
(2)外部材質:優質冷軋板噴塑;
(3)硅橡膠密封;
(4)內部采用圓角結構。
(5)冷卻水管材質:金屬水管和其他。
內部尺寸:長×寬×高=600mm×500mm×500mm
腔門:帶有觀察窗。
擱架:配有不銹鋼的托盤;
真空控制系統
(1)配備數字真空控制器,顯示腔內相對壓強;
(2)配備干泵、真空檢測和顯示系統,真空壓力可控;
(3)真空泵:油泵或干泵
溫度控制系統
(1)可編程多段升溫程序;
(2)具備溫度校準功能。
安全保護系統
(1)接地保護裝置;
(2)超溫報警及保護裝置;
(3)加熱器短路保護裝置;
(4)壓力低壓報警;
配有三色指示燈及蜂鳴器提示機臺運行狀態。
有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱技術指標:
真空
(1)工藝真空度:≤133pa;
(3)通過真空電磁閥可實現真空度的控制。
溫度
(1)溫度范圍:室溫至300℃;
(3)溫度調節精度:≤±0.5℃;
(4)溫度穩定度:≤1℃;
(5)溫度波動度:≤1℃;
(6)降溫至室溫時間:<60min;
(7)升溫至200℃時間:<30min;
(8)可編程進行多段升溫。
潔凈度
可達class100(使用環境100級)