氮氣烘箱,N2潔凈烘箱是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈烘干設備。烘箱整機為不銹鋼結構,全部采用無塵材料。工作室內溫度由溫控儀自動控制,并有自動恒溫及時間控制裝置,并附設有超溫自動停電及報警電路,控制可靠,使用安全。
hmds熏蒸機,hmds熏蒸烤箱通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
精密烤箱,封裝烤箱適用于烘烤有化學性氣體欲烘烤物品、基板應力的去除、油墨的固化、漆膜的烘干等。廣泛使用于PCB、電子、電機、通訊、電鍍、塑料、五金化工、印刷、噴涂、玻璃、陶瓷等的精密烘烤、高溫去應力、老化、烘干、定型、加工等。
半導體烤箱,wafer烤箱于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料預處理烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
軟烘烤箱,硅片烤箱工作室內充滿了惰性氣體N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧烤箱主要用于:晶圓、硅片、玻璃等制程烘烤,IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板等電子、IC、醫療衛生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門。
晶圓烤箱,超潔凈烤箱工作室內充滿了惰性氣體N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧烤箱主要用于:晶圓、硅片、玻璃等制程烘烤,IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板等電子、IC、醫療衛生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門。
堅膜烘箱,真空堅膜烤箱用于半導體制造中半導體襯底片、硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料顯影后堅膜烘烤;也適用于涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤以及電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。